The present invention provides a delivery device which comprises a substrate, a rigid shell a diaphragm, a cannula, an electrode and an electronic device chamber. The substrate has a first side and a second side. The second side is opposite to the first side. The rigid shell is disposed on the first side of the substrate. A chamber is defined by the rigid shell and the substrate. The diaphragm is configured within the chamber to divide the chamber into an upper reservoir and a lower reservoir. The cannula penetrating through the rigid shell and in fluid communication with the upper reservoir. The electrode is disposed on the first side of the substrate. The electronic device chamber is electrically connecting to the electrode.L'invention concerne un micro-dispositif d'administration (100), qui comprend un substrat (112), une coque rigide (114), un diaphragme (106), une canule (118), une électrode (108) et une chambre de dispositif électronique (110). Le substrat (112) possède un premier côté (1122) et un second côté (1124). Le deuxième côté (1124) est opposé au premier côté (1122). La coque rigide (114) est disposée sur le premier côté (1122) du substrat (112). Une chambre (103) est définie par la coque rigide (114) et le substrat (112). Le diaphragme (106) est configuré à l'intérieur de la chambre (103) pour diviser la chambre (103) en un réservoir supérieur (102) et un réservoir inférieur (104). La canule (118) pénètre à travers la coque rigide (114) et en communication fluidique avec le réservoir supérieur (102). L'électrode (108) est disposée sur le premier côté (1122) du substrat (112). La chambre de dispositif électronique (110) est électriquement connectée à l'électrode (108).
