A micro delivery device (100) is disclosed, which comprises a substrate (112), a rigid shell (114), a diaphragm (106), a cannula (118), an electrode (108) and an electronic device chamber (110). The substrate (112) has a first side (1122) and a second side (1124). The second side (1124) is opposite to the first side (1122). The rigid shell (114) is disposed on the first side (1122) of the substrate (112). A chamber (103) is defined by the rigid shell (114) and the substrate (112). The diaphragm (106) is configured within the chamber (103) to divide the chamber (103) into an upper reservoir (102) and a lower reservoir (104). The cannula (118) penetrating through the rigid shell (114) and in fluid communication with the upper reservoir (102). The electrode (108) is disposed on the first side (1122) of the substrate (112). The electronic device chamber (110) is electrically connecting to the electrode (108).L'invention concerne un micro-dispositif d'administration (100), qui comprend un substrat (112), une coque rigide (114), un diaphragme (106), une canule (118), une électrode (108) et une chambre de dispositif électronique (110). Le substrat (112) possède un premier côté (1122) et un second côté (1124). Le deuxième côté (1124) est opposé au premier côté (1122). La coque rigide (114) est disposée sur le premier côté (1122) du substrat (112). Une chambre (103) est définie par la coque rigide (114) et le substrat (112). Le diaphragme (106) est configuré à l'intérieur de la chambre (103) pour diviser la chambre (103) en un réservoir supérieur (102) et un réservoir inférieur (104). La canule (118) pénètre à travers la coque rigide (114) et en communication fluidique avec le réservoir supérieur (102). L'électrode (108) est disposée sur le premier côté (1122) du substrat (112). La chambre de dispositif électronique (110) est électriquement connectée à l'électrode (108).
