BERG, Gabriele,LIEBMINGER, Stefan,OBERAUNER, Lisa,KLEIN, Thomas,STAMPF, Roland
申请号：
EPEP2011/073885
公开号：
WO2012/085250A1
申请日:
2011.12.22
申请国别(地区):
WO
年份:
2012
代理人:
摘要：
A clean room device (300) which comprises a movably configured electromagnetic radiation source (302) for irradiating parts of a clean room equipment (304) with electromagnetic radiation for decontaminating a surface to be treated of the clean room equipment (304).Linvention porte sur un dispositif de salle blanche (300) qui comprend une source de rayonnement électromagnétique configurée de manière mobile (302) pour irradier des parties dun équipement de salle blanche (304) avec un rayonnement électromagnétique pour décontaminer une surface à traiter de léquipement de salle blanche (304).
