PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a discharge electrode which suppresses reduction in a generation amount of an active species, and to provide an active species generating unit using the discharge electrode, and an active species generating device.SOLUTION: A discharge electrode 15, which is a semiconductive coated needle, suppresses wear of a tip of the discharge electrode by configuring to cover a periphery of an alumina, which is a ceramic insulator 20, with a hollow cylindrical or a cap-shaped semiconductive body 21 containing an oxide conductive material 22 and glass, which is a constituent material 23, thereby an occurrence of an active species can be stabilized over time.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】本発明は活性種の発生量の減少を抑制する放電電極とこれを用いた活性種発生ユニットおよび活性種発生装置を提供することを目的とする。【解決手段】半導電被覆針である放電電極15を、セラミック製絶縁体20としてのアルミナの周囲を覆うように酸化物の導電材22と構成材23としてのガラスを含有する中空円筒状またはキャップ状の半導電体21を構成したことにより、コロナ放電による放電電極の先端の磨耗を抑制し、経時的に活性種の発生を安定させることができる。【選択図】図5
