Steering system for a droplet generator in a EUV system. The steering system permits controlled positioning of a droplet release point of the droplet generator. A movable member holding the droplet generator is coupled to stationary elements of the EUV system through a coupling system having a first subsystem that constrains lateral translation of the movable member, and a second subsystem that controls a relative inclination of the movable member. The first and second subsystems preferably include one or a combination of flexures that permit highly precise and repeatable positioning.La présente invention concerne un système d'orientation de générateur de gouttelettes dans un système d'ultraviolet extrême. Le système d'orientation permet un positionnement contrôlé du point de décharge de gouttelettes du générateur de gouttelettes. Un organe mobile de maintien du générateur de gouttelettes est accouplé à des éléments stationnaires du système d'ultraviolet extrême à travers un système d'accouplement comprenant un premier sous-système qui limite la translation latérale de l'organe mobile, et un second sous-système qui commande une inclinaison relative de l'organe mobile. Les premier et second sous-systèmes comprennent de préférence une flexion ou une combinaison de flexions qui permet/permettent un positionnement très précis et reproductible.
