A germ-free liquefied gas production apparatus according to the present invention is provided with: a liquefied gas storing tank； a material gas supply device that supplies material gas into the liquefied gas storing tank； a cooling device that cools the inside of the liquefied gas storing tank so as to liquefy the material gas； supply piping that connects the material gas supply device and the liquefied gas storing tank to each other； a sterilization filter that is provided to the supply piping； a sterilization device that performs, by a high temperature saturated water vapor, heat sterilization on a sterilization region positioned at a downstream portion relative to the sterilization filter； and a drying device that removes moisture resulting from the heat sterilization, so as to dry the sterilization region.Un appareil de production de gaz liquéfié sans germe selon la présente invention est pourvu de : un réservoir de stockage de gaz liquéfié ； un dispositif de distribution de gaz de matériau qui distribue un gaz de matériau dans le réservoir de stockage de gaz liquéfié ； un dispositif de refroidissement qui refroidit l'intérieur du réservoir de stockage de gaz liquéfié de façon à liquéfier le gaz de matériau ； une tuyauterie de distribution qui raccorde le dispositif de distribution de gaz de matériau et le réservoir de stockage de gaz liquéfié l'un à l'autre ； un filtre de stérilisation qui est disposé sur la tuyauterie d'alimentation ； un dispositif de stérilisation qui effectue, au moyen d'une vapeur d'eau saturée à haute température, une stérilisation thermique sur une région de stérilisation positionnée au niveau d'une partie en aval par rapport au filtre de stérilisation ； et un dispositif de séchage qui élimine l'humidité résultant de la stérilisation thermique, de façon à sécher la région de stérilisation.本発明の無菌液化ガス製造装置は、液化ガス貯留タンクと、前記液化ガス貯留タンクに原料ガスを供給する原料ガス供給装置と、前記液化ガス貯留タンク内を冷却して前記原料ガスを液化する冷却装置と、前記原料ガス供給装置と前記液化ガス貯留タンクとを接続する供給配管と、前記供給配管に設けられる滅菌フィルタと、前記滅菌フ
