The sterile liquefied gas device of the present invention includes a liquefied gas storage tank, a raw material gas supply device for supplying a raw material gas to the liquefied gas storage tank, and a cooling device for cooling the inside of the liquefied gas storage tank to liquefy the raw material gas. , A supply pipe connecting the raw material gas supply device and the liquefied gas storage tank, a sterilizing filter installed in the supply pipe, and a sterilizing device sterilizing a sterilization area located downstream from the sterilizing filter by sterilizing gas. , Sterilization gas removal device for removing the sterilization gas after sterilization.본 발명의 무균 액화 가스 장치는, 액화 가스 저류 탱크와, 상기 액화 가스 저류 탱크에 원료 가스를 공급하는 원료 가스 공급 장치와, 상기 액화 가스 저류 탱크 내를 냉각하여 상기 원료 가스를 액화하는 냉각 장치와, 상기 원료 가스 공급 장치와 상기 액화 가스 저류 탱크를 접속하는 공급 배관과, 상기 공급 배관에 설치되는 멸균 필터와, 상기 멸균 필터보다 하류 부분에 위치하는 멸균 영역을 멸균 가스에 의해 멸균하는 멸균 장치와, 멸균 후에 상기 멸균 가스를 제거하는 멸균 가스 제거 장치를 갖는다.
