The present invention relates to a cleaning automation system for disinfecting a separable equipment module and a cleaning automation method thereof. The cleaning automation system according to an embodiment of the present invention includes: an automated process control module, a sequence compensation module, and an automated control module. The cleaning automation method according to the present invention includes: a first step of generating a first consecutive cleaning sequence； a second step of generating a second consecutive cleaning sequence； a third step of updating the second consecutive cleaning sequence； and a fourth step of controlling the automated execution based on the updated second consecutive cleaning sequence.본 발명은 분리형 설비 모듈 방역을 위한 크리닝 자동화 시스템을 이용한 크리닝 자동화 방법에 관한 것이다. 본 발명은, 자동화 크리닝 서버가 최상위로부터 하위로 제 4 레벨 유닛단(Level4), 제 3 레벨 유닛단(Level3), 제 2 레벨 유닛단(Level2) 및 제 1 레벨 유닛단(Level1)으로 구분되는 제 1 분리형 설비 모듈 또는 제 2 분리형 설비 모듈에 대해 각각 미리 설정된 지점에 부착된 태그정보를 기초로 제 1 순차적 크리닝 시퀀스를 생성하는 제 1 단계； 상기 자동화 크리닝 서버가 상기 제 4 레벨 유닛단(Level4) 내지 상기 제 1 레벨 유닛단(Level1)을 구성하는 각 구성요소별 태그정보를 기초로 각 레벨 유닛단(Level4, Level3, Level2 및 Level1) 내부부터 외부로의 제 2 순차적 크리닝 시퀀스를 생성하는 제 2 단계； 상기 자동화 크리닝 서버가 데이터 제어 세션을 통해 통신 가능한 태그 인식 워터 스프레이, 태그 인식 에어 스프레이 및 태그 인식 와이퍼에 의해 상기 각 레벨 유닛단(Level4, Level3, Level2 및 Level1)에서 자동화가 가능하지 않은 영역에 해당하는 핫 스폿과 접근금지 영역에 대한 태그정보 수집하여 상기 생성된 제 2 순차적 크리닝 시퀀스에 반영하여 업데이트하는 제 3 단계； 및 상기 자동화 크리닝 서버가 상기 태그 인식 워터 스프레이, 상기 태그 인식 에어 스프레이 및 상기 태그 인식 와이퍼에 대해 상기 제 1 순차적 크리닝 시퀀스에 따라 상기 제 4 내지 레벨 유닛단(Level4)으로부터 상기 제 1 레벨 유닛단(Level1)으로 차례로 크리닝을 수행함에 있어서, 상기 각 레벨 유닛단(Level4, Level3, Level2 및 Level1)에 대해서는 상기 업데이트된 제 2 순차적 크리닝 시퀀스에 따른 자동 수행을 제어하는 제 4 단계； 를 포함한다. 이에 의해, 다수의 레벨로 분리된 개별적인 분리형 설비에 대해 상층부터 하부층으로의 크리닝 수행 중 하부층에 영향을 최소화할 수 있다.
