用于金属渗氮工艺氮势测量的单边式电容传感器
- 专利权人:
- 浙江大学
- 发明人:
- 刘涌,宋晨路,翁文剑,杜丕一,韩高荣
- 申请号：
- CN200310122905.8
- 公开号：
- CN1225652C
- 申请日:
- 2003.12.24
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2005
- 代理人:
- 韩介梅
- 摘要：
- 本发明的用于金属渗氮工艺氮势测量的单边式电容传感器是采用将液位转化为电容值来表征氨气分解率的。它包括外表面包覆有导电层的圆筒形容器和探针，探针穿透容器壁插置在容器的下部，在探针与容器壁间设有绝缘层，容器的上部设有进气管和进水管，底部有排水管，在进气管、进水管和排水管上分别装置有阀门，导电层和探针分别接有电极引线。本发明的单边式电容传感器具有如下特点：(1)使用方便，测量准确，能够给出金属渗氮工艺过程中所要求精度的氨气分解率参数值；(2)容器的结构材料可以有多种选择，成本低廉，利于推广使用；(3)结构简单，便于加工和维护。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
