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X線センサーと、その製造方法と、X線センサーを用いたX線診断装置
专利权人:
PANASONIC CORP
发明人:
HATAYAMA TAKESHI,畑山 健,KINO MASAHIRO,城野 政博,TOTTORI SATORU,鳥取 悟
申请号:
JP2011096820
公开号:
JP2012229927A
申请日:
2011.04.25
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent an occurrence of shade when a flaw and irregularity is formed on, for example, a thin-film electrode and a hole injection prevention layer.SOLUTION: This invention for achieving the purpose includes: an X-ray transmission substrate 17 whose lower surface side is defined as an X-ray incident surface a thin-film electrode 18 sequentially provided on the upper side of the upper surface of the X-ray transmission substrate 17 a hole injection prevention layer 19 an optical conversion film layer 20 and an electron injection prevention layer 21. An recess 32 is formed from the electron injection prevention layer 21 reaching the upper surface of the X-ray transmission substrate 17, and the electron injection prevention layer 21 is formed on the upper surface of the X-ray transmission substrate 17 inside the recess 32.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】本発明は、例えば、薄膜状電極、正孔注入阻止層などにキズや、ムラが発生した場合でも、それによる陰の出現が起きないようにすることを目的とするものである。【解決手段】そしてこの目的を達成するために本発明は、下方面側がX線入射面となったX線透過性基板17と、このX線透過性基板17の上面の上方側に順次設けた薄膜状電極18、正孔注入阻止層19、光変換膜層20、電子注入阻止層21とを備え、前記電子注入阻止層21から前記X線透過性基板17の上方面に到達する凹部32を形成し、この凹部32内の前記X線透過性基板17の上方面には電子注入阻止層21を形成した。【選択図】図7
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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