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METHOD FOR MANUFACTURING RADIATION DETECTOR
专利权人:
HAMAMATSU PHOTONICS KK;浜松ホトニクス株式会社
发明人:
UENISHI HIDENORI,上西 秀典,KUSUYAMA YASUSHI,楠山 泰,OSAWA HIROTAKE,大澤 弘武
申请号:
JP2016068619
公开号:
JP2017181296A
申请日:
2016.03.30
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a radiation detector capable of increasing a moisture-proof property of a scintillator layer.SOLUTION: A method for manufacturing a radiation detector includes: a first step of forming a scintillator layer including a plurality of columnar crystals on a principal surface of a sensor panel including a plurality of photoelectric conversion elements by a vapor phase deposition method; a second step of forming a resin frame on the principal surface so as to surround the scintillator layer and arranging a frame member made of an inorganic solid material so as to come into contact with the resin frame along an outer periphery of the resin frame; a third step of sealing the scintillator layer by sticking the protection plate to the resin frame; and a fourth step of curing the resin frame.SELECTED DRAWING: Figure 4【課題】シンチレータ層の防湿性を高めることができる放射線検出器の製造方法を提供する。【解決手段】放射線検出器の製造方法は、複数の光電変換素子を含むセンサパネルの主面上に、複数の柱状結晶を含むシンチレータ層を気相堆積法によって形成する第1工程と、シンチレータ層を囲うように主面上に樹脂枠を形成すると共に、樹脂枠の外周に沿って樹脂枠に接するように無機固形材料からなる枠部材を配置する第2工程と、保護板を樹脂枠に接着することにより、シンチレータ層を封止する第3工程と、樹脂枠を硬化する第4工程と、を含む。【選択図】図4
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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