Systems and methods for deep brain stimulation leads are provided. A stimulation lead including one or more silicon-based barrier layers in a MEMS film. The silicon-based barrier layer improves device reliability and durability. The silicon-based barrier layer also improves the adhesion between the layers of the MEMS film. [Selection diagram] Fig. 3B【課題】深部脳刺激リードのためのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】MEMSフィルム内に一つまたは複数のケイ素系バリヤ層を含む刺激リード。ケイ素系バリヤ層は装置信頼性および耐久性を改善する。ケイ素系バリヤ層はまた、MEMSフィルムの層間の接着を改善する。【選択図】図3B