Capacitively coupled to the sample under test, the detection electrodes and one (12) receives the measurement signal as input, the present invention, an amplified detection signal as an output, at least configured to generate a measurement signal To improve sensor amplifier configured to supply (14), the sensitivity of the electrode to the potential is reduced, the input impedance increasing means to provide a sensor amplifier of high input impedance (34), and signal to the sensor To improve noise ratio, and provides a potential sensor and a (46,52,54,56,56,61) feedback means for applying to the input terminal of the sensor amplifier coherent feedback signal. [Selection Figure Figure 2本発明は、試験の下の試料と容量結合し、測定信号を発生するように構成された少なくとも1つの検出電極(12)と、入力として測定信号を受信し、出力として増幅された検出信号を供給するように構成されたセンサ増幅器(14)と、低減された電位に対する電極の感度を向上するために、高い入力インピーダンスをセンサ増幅器に提供する入力インピーダンス増加手段(34)と、センサの信号対雑音比を向上するために、可干渉性フィードバック信号をセンサ増幅器の入力端子に与えるフィードバック手段(46,52,54,56,56,61)とを備える電位センサを提供する。【選択図】図2
