PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optical interference tomographic device which aligns positional deviation in vertical and horizontal directions and positional deviation in a rotation direction.SOLUTION: An optical interference tomographic device acquires a plurality of tomographic images of an object to be measured on the basis of interference light obtained by making return light of light emitted to an object to be measured interfere with reference light (S101, S103), evaluates image quality of the plurality of tomographic images (S104), selects a reference image to be the reference of alignment at the time of generating a composite image from the plurality of tomographic images on the basis of the evaluation of image quality (S105), and generates the composite image by composing the plurality of tomographic images with the selected tomographic image as the reference image (S110). The optical interference tomographic device generates the composite image by aligning the positional deviation in the vertical and horizontal directions and the positional deviation in the rotation direction between each of the plurality of tomographic images other than the reference image and the reference image at the time of generating the composite image (S109).COPYRIGHT: (C)2015,JPO&INPIT【課題】 縦横方向の位置ずれと回転方向の位置ずれを位置合わせする光干渉断層撮影装置を提供する。【解決手段】 被測定物に照射された光の戻り光と参照光を干渉させた干渉光に基づいて被測定物の複数の断層画像を取得し(S101,S103)、複数の断層画像の画質を評価し(S104)、画質の評価に基づき、合成画像を生成する際の位置合わせの基準となる基準画像を複数の断層画像から選択し(S105)、選択された断層画像を基準画像として複数の断層画像を合成して合成画像を生成する(S110)。合成画像を生成する際に、基準画像以外の複数の断層画像のそれぞれの断層画像と基準画像との縦横方向の位置ずれと回転方向の位置ずれを位置合わせして合成画像を生成する(S109)。【選択図】 図3