The present invention, in particular relates to an apparatus. The apparatus includes a cyclic olefin polymer material or a cyclic olefin copolymer material or body member made from these mixtures (2100,2200,2300), a diaphragm valve having a diaphragm (2700,2750) and (2700,2750), at least the surface portion of the diaphragm (2700,2750) is made of a diaphragm material, wherein the diaphragm material is a fluoroelastomer material or perfluoro elastomer material or a mixture thereof.FIELD 12本発明は、特に装置に関する。装置は、環状オレフィンポリマー材料または環状オレフィンコポリマー材料またはこれらの混合物から作られた本体部材(2100、2200、2300)と、ダイヤフラム(2700、2750)を有するダイヤフラム弁(2700、2750)とを含み、ダイヤフラム(2700、2750)の少なくとも表面部分がダイヤフラム材料から作られ、前記ダイヤフラム材料がフルオロエラストマー材料またはパーフルオロエラストマー材料またはこれらの混合物である。【選択図】図12
