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シリコン化合物溶解性及び/又はスケール溶解性組成物並びにシリコン化合物含有付着物の洗浄方法
专利权人:
松村石油株式会社
发明人:
岡田 隆,山川 英二
申请号:
JP20150119635
公开号:
JP2017002232(A)
申请日:
2015.06.12
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】種々基材上に付着するシリコン化合物を含む付着物の溶解、シリコン化合物を含む基材表面を溶解することによる基板表面の平滑処理及び基材の厚み制御、及び/又は、スケールの洗浄除去に好適な組成物、並びに、シリコン化合物に対して特定の溶解性を有するシリコン化合物溶解性組成物を使用するシリコン化合物含有付着物の洗浄方法を提供する。【解決手段】フッ化水素及び/又はフッ化水素塩(化合物A)、スルファミン酸及び/又はスルファミン酸塩(化合物B)、硫酸及び/又は硫酸塩(化合物C)、界面活性剤(化合物D)並びに水を配合してなり、配合総質量中、化合物A100質量部に対して、化合物Bが1〜1000質量部、化合物Cが1〜10000質量部、化合物Dが1〜10000質量部、残量が実質的に水であり、p
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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