一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法

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专利权人:

哈尔滨工业大学

发明人:

柯华,徐加焕,王文,陈林,贾德昌

申请号：

CN200810137246.8

公开号：

CN101376598A

申请日:

2008.09.28

申请国别(地区):

中国

年份:

2009

代理人:

金永焕

摘要：

一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法，它涉及一种薄膜材料的制备工艺。它解决现有技术中制备Bi_4－xLa_xTi₃O₁₂薄膜工艺复杂、结晶温度高、表面粗糙、无择优取向性、铁电性能差、致密度低和颗粒分布不均的问题。制备方法：将硝酸镧和次硝酸铋溶于醋酸中，加入乙二醇溶液后，与加入乙二醇溶液的钛酸四丁酯溶液混合搅拌得Bi_4－xLa_xTi₃O₁₂溶胶，然后将此溶胶旋涂到清洗过的Pt/Ti/SiO₂/Si基片上，干燥、焙烧，晶化热处理后得Bi_4－xLa_xTi₃O₁₂薄膜。本发明Bi_4－xLa_xTi₃O₁₂薄膜的制备成膜质量高、结晶温度低、呈现(020)择优取向、有利于提高铁电性能、成本低、工艺简单、适用于工业化生产。

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/