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一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法
专利权人:
哈尔滨工业大学
发明人:
柯华,徐加焕,王文,陈林,贾德昌
申请号:
CN200810137246.8
公开号:
CN101376598A
申请日:
2008.09.28
申请国别(地区):
中国
年份:
2009
代理人:
金永焕
摘要:
一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法,它涉及一种薄膜材料的制备工艺。它解决现有技术中制备Bi4-xLaxTi3O12薄膜工艺复杂、结晶温度高、表面粗糙、无择优取向性、铁电性能差、致密度低和颗粒分布不均的问题。制备方法:将硝酸镧和次硝酸铋溶于醋酸中,加入乙二醇溶液后,与加入乙二醇溶液的钛酸四丁酯溶液混合搅拌得Bi4-xLaxTi3O12溶胶,然后将此溶胶旋涂到清洗过的Pt/Ti/SiO2/Si基片上,干燥、焙烧,晶化热处理后得Bi4-xLaxTi3O12薄膜。本发明Bi4-xLaxTi3O12薄膜的制备成膜质量高、结晶温度低、呈现(020)择优取向、有利于提高铁电性能、成本低、工艺简单、适用于工业化生产。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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