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一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法
- 专利权人:
- 哈尔滨工业大学
- 发明人:
- 柯华,徐加焕,王文,陈林,贾德昌
- 申请号：
- CN200810137246.8
- 公开号：
- CN101376598B
- 申请日:
- 2008.09.28
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2011
- 代理人:
- 金永焕
- 摘要：
- 一种(020)择优取向钛酸铋薄膜的制备方法，它涉及一种薄膜材料的制备工艺。它解决现有技术中制备Bi4-xLaxTi3O12薄膜很难实现沿b轴择优取向，铁电性能差的问题。制备方法：将硝酸镧和次硝酸铋溶于醋酸中，加入乙二醇溶液后，与加入乙二醇溶液的钛酸四丁酯溶液混合搅拌得Bi4-xLaxTi3O12溶胶，然后将此溶胶旋涂到清洗过的Pt/Ti/SiO2/Si基片上，干燥、焙烧，晶化热处理后得Bi4-xLaxTi3O12薄膜。本发明Bi4-xLaxTi3O12薄膜的制备成膜质量高、结晶温度低、呈现(020)择优取向、有利于提高铁电性能、成本低、工艺简单、适用于工业化生产。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
