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PROCÉDÉ DE RÉGLAGE DE RÉSEAU
专利权人:
株式会社島津製作所;SHIMADZU CORPORATION
发明人:
MORIMOTO, Naoki,森本直樹,KIMURA, Kenji,木村健士,SHIRAI, Taro,白井太郎,DOKI, Takahiro,土岐貴弘,SANO, Satoshi,佐野哲,HORIBA, Akira,堀場日明
申请号:
JPJP2019/022487
公开号:
WO2020/054150A1
申请日:
2019.06.06
申请国别(地区):
JP
年份:
2020
代理人:
摘要:
This grating adjustment method comprises a step for adjusting the positional deviation between a first grating (G1) and a second grating (G2) in rotation direction (Rx) and rotation direction (Ry) such that first reflection adjustment light (L1) reflected by the second grating (G2) and second reflection adjustment light (L2) resulting from the reflection of the first reflection adjustment light (L1) by the first grating (G1) both pass through an opening part (22a).Ce procédé de réglage de réseau comprend une étape consistant à ajuster l'écart de position entre un premier réseau (G1) et un second réseau (G2) dans la direction de rotation (Rx) et la direction de rotation (Ry) de telle sorte que la première lumière de réglage de réflexion (L1) réfléchie par le second réseau (G2) et la seconde lumière de réglage de réflexion (L2) résultant de la réflexion de la première lumière de réglage de réflexion (L1) par le premier réseau (G1) passent toutes les deux à travers une partie d'ouverture (22a).この格子の調整方法は、第2格子(G2)により反射された第1反射調整用光(L1)と、第1反射調整用光(L1)が第1格子(G1)により反射された第2反射調整用光(L2)とが、ともに開口部(22a)を通過するように、回転方向(Rx)および回転方向(Ry)における、第1格子(G1)と第2格子(G2)との位置ずれを調整する工程を備える。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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