PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electromechanical transducer capable of steadily operating in the collapse mode at a lower voltage, as well as, always keeping a vibrating membrane in contact with a substrate that has a lower electrode, without having to apply external force, and to provide a manufacturing method therefor.SOLUTION: The electromechanical transducer is provided with a vibrating membrane 3 having a first electrode 1, a substrate 4 having a second electrode 8 and a support portion 2 for supporting the vibrating membrane with these electrodes, disposed opposite so that a space is formed between the vibration membrane and the substrate, wherein part of the area of the vibrating membrane is always in contact with the region of the substrate, without having to apply external force to the vibrating membrane and the region of the vibrating membrane, other than the region held in a contact state, can vibrate.COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT【課題】コラプスモードで作動させるに際し、外力を加えることなく振動膜と下部電極が設けられた基板との接触状態を維持させ、安定性良く低電圧化を図ることが可能となる電気機械変換素子及びその製造方法を提供する。【解決手段】第1の電極1が設けられている振動膜3と、第2の電極8が設けられている基板4と、これら電極が対向配設されたもとで、前記振動膜と前記基板との間に空隙が形成されるように前記振動膜を支持する支持部2と、を備えた電気機械変換素子であって、前記振動膜の一部領域と、前記基板の領域とが、前記振動膜に外力を加えることなく接触状態が維持され、前記接触状態が維持されている領域以外の振動膜の領域が、振動可能とされた構成を有する。【選択図】図1
