The present invention relates to an electrode structure of a target material activating device, wherein the electrode structure of a target material activating device is in contact with the target material and generates a target material activator in a space spaced apart from the target material by a predetermined distance according to the dielectric barrier discharge principle. , An electrode portion that serves as a power electrode by inputting power, and a dielectric portion provided in contact with an end portion of the electrode portion, wherein the electrode portion has a hollow portion opened toward the dielectric portion at the terminal portion thereof. do.본 발명은 대상 물질 활성화 장치의 전극 구조에 관한 것으로, 대상 물질에 접촉되어 유전체 장벽 방전 원리에 따라 대상 물질과의 소정 거리 이격 공간에 대상 물질 활성체를 발생시키는 대상 물질 활성화 장치의 전극 구조에 있어서, 전원이 입력되어 전원 전극의 역할을 수행하는 전극부, 및 상기 전극부의 종단부에 접촉 설치되는 유전체부를 포함하고, 상기 전극부는, 그 종단부에 상기 유전체부를 향해 개구된 중공부가 형성된 것을 특징으로 한다.