PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vibration compensation system for an optical device functioning as inertia-free as far as possible.SOLUTION: The optical device, in particular a microscope, includes: a beam path in which at least one deflection element (5 and 6a to 6f) for deflecting the beam path is arranged, wherein at least one vibration sensor (34) is arranged in or on the optical device at least one of the deflection elements (5 and 6a to 6f) includes a mirror having a controllably deformable mirror surface (50) and a control unit (32) is provided for controlling, as a function of the output signal of the vibration sensor (34), at least one deflection element (5 and 6a to 6f) in order to adjust the mirror surface (50) in such a way that vibrations of the optical device are compensated for by a corresponding opposite-phase adjustment of the mirror surface (50).COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT【課題】可及的に慣性フリーで機能する光学装置のための振動補償システムの提供。【解決手段】当該ビーム路を偏向するための少なくとも1つの偏向要素(5、6a~6f)が配されるビーム路を有するとりわけ顕微鏡等の光学装置であって、少なくとも1つの振動センサ(34)が当該光学装置内に又は際に配されること;前記偏向要素(5、6a~6f)の少なくとも1つは、制御可能に変形可能なミラー面(50)を有するミラーを含むこと;及び当該光学装置の振動が前記ミラー面(50)の対応する逆位相調整によって補償されるように前記ミラー面(50)を調節するために、前記振動センサ(34)の出力信号の関数として、前記少なくとも1つの偏向要素(5、6a~6f)を制御する制御ユニット(32)が配されることを特徴とする。【選択図】図1
