PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a structure suitable for a sensor unit having a diaphragm made of thermoplastic elastomer.SOLUTION: The sensor unit includes: a base substance 120 in a form of a container having an aperture 123 a diaphragm 110 made of thermoplastic elastomer which encapsulates the aperture 123 and a cap 130 which is engaged with the base substance 120 and applies a pressing force to the diaphragm 110 toward the aperture 123. The diaphragm 110 includes: a first fixation unit 111 cohering with an outer peripheral surface of the aperture 123 a second fixation unit 112 which is disposed within the first fixation unit 111 and coheres with an edge face of the aperture 123 a disciform displacement unit 115 which is disposed within the second fixation unit 112 and is displaced in accordance with a pressure a film-like thin wall unit 114 connecting the second fixation unit 112 and the displacement unit 115 and a projection which protrudes from the second fixation unit 112 toward the side of the cap 130, is scattered over a circumference and comes into contact with the cap 130.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】熱可塑性エラストマー製のダイアフラムを備えるセンサユニットに適した構造を提供する。【解決手段】開口部123を有する容器状の基体120と、開口部123を封止する熱可塑性エラストマー製のダイアフラム110と、基体120と係合し、開口部123に向かってダイアフラム110を押圧するキャップ130とを備え、ダイアフラム110は、開口部123の外周面に密着する第一固定部111と、第一固定部111の内側に配置され、開口部123の端面に密着する第二固定部112と、第二固定部112の内側に配置され、圧力に従って変位する円板状の変位部115と、第二固定部112と変位部115とを接続する膜状の薄肉部114と、第二固定部112からキャップ130側に向かって突出し、円周上に点在しキャップ130と当接する突出部とを備える。【選択図】図1
