PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable and compact myoelectric sensor that ensures more accurate myopotential measurement.SOLUTION: The myoelectric sensor 10 includes: a MEMS element 20, a measuring circuit element 30, a base substrate 40, detection external electrodes 51 and 52 a casing 60 wiring 70 and via electrodes 71 and 72. The MEMS element 20 and the measuring circuit element 30 are mounted on the base substrate 40, and the detection external electrodes 51 and 52 are disposed on the surface of the base substrate 40 opposite the surface on which the elements are mounted. The casing 60 is disposed on the element mounted surface of the base substrate 40. The myoelectric sensor 10 executes myopotential measurement while bringing the detection external electrodes 51 and 52 in contact with the living body 100. The MEMS element 20 includes two comb electrode pairs whose distances are varied with drive signals. Each comb electrode pair is connected to the detection external electrode 51 or 52 via the via electrode 71 or 72, and connected to the measuring circuit element 30 via the wiring 70.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】信頼性が高く、筋電位をより正確に測定できる小型の筋電センサを提供する。【解決手段】筋電センサ10は、MEMS素子20、計測用回路素子30、ベース基板40、検出用外部電極51,52、筐体60、ワイヤ配線70、ビア電極71,72を備える。MEMS素子20、計測用回路素子30は、ベース基板40に実装され、ベース基板40のこれら素子の実装面と反対側の面には、検出用外部電極51,52が配設されている。ベース基板40の素子の実装面には、筐体60が配設されている。筋電センサ10は、検出用外部電極51,52を生体100に当接させた状態で、筋電位測定を実行する。MEMS素子20は、駆動信号により距離が変動する二対の櫛歯電極を備える。対をなす櫛歯電極は、それぞれ、ビア電極71,72を介して検出用外部電極51,52に接続されるとともに、ワイヤ配線70を介して計測用回路素子30へ接続されている。【選択図】 図1
