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一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺
- 专利权人:
- 中北大学
- 发明人:
- 刘俊,寇志伟,曹慧亮,石云波,黄堃,唐军,冯恒振,连树仁,任建军,康强
- 申请号：
- CN201610973782.6
- 公开号：
- CN106643685A
- 申请日:
- 2016.11.07
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 朱源`王勇
- 摘要：
- 本发明涉及硅微环形振动陀螺，具体是一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺。本发明解决了现有硅微环形振动陀螺测量精度低、机械灵敏度低的问题。一种全新的U形折叠梁硅微环形振动陀螺，包括玻璃基底、谐振子部分、电极部分；所述谐振子部分包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；所述电极部分包括外弧形电极、内弧形电极；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、方波状弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
