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一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构
- 专利权人:
- 中北大学
- 发明人:
- 刘俊,曹慧亮,寇志伟,石云波,连树仁,冯恒振,唐军
- 申请号：
- CN201610918610.9
- 公开号：
- CN106289215A
- 申请日:
- 2016.10.21
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 朱源`王勇
- 摘要：
- 本发明涉及MEMS环形振动陀螺，具体是一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构。本发明解决了现有MEMS环形振动陀螺灵敏度低的问题。一种全对称U形梁MEMS环形振动陀螺谐振子结构，包括圆环状谐振质量、圆柱状中心锚点、轮辐状弹性支撑悬梁；其中，圆柱状中心锚点位于圆环状谐振质量的内腔，且圆柱状中心锚点的轴线与圆环状谐振质量的轴线相互重合；轮辐状弹性支撑悬梁的数目为八个，且八个轮辐状弹性支撑悬梁围绕圆柱状中心锚点的轴线等距排列；每个轮辐状弹性支撑悬梁均由第一片状弹性支撑悬梁、第一U形弹性支撑悬梁、第二U形弹性支撑悬梁、第二片状弹性支撑悬梁构成。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
