Disclosed is a sterilizing apparatus using a microwave, wherein the sterilizing apparatus comprises: a chamber for containing an object to be processed therein； A vacuum forming part for bringing the inside of the chamber into a vacuum state； A gas supply source for supplying gas into the chamber； And a plurality of microwave applicators for applying a microwave for sterilization to the chamber, wherein the microwave applied by one of the plurality of microwave applicators is different from the microwave for another one of the plurality of microwave applicators And at least one of the phase and the frequency are different from each other.마이크로웨이브를 이용한 멸균장치가 개시되며, 상기 멸균장치는, 내부에 피처리물을 수용하는 챔버； 상기 챔버 내부를 진공 상태로 만드는 진공형성부； 상기 챔버 내부에 가스를 공급하는 가스공급원； 및 상기 챔버 내부에 멸균을 위한 마이크로웨이브를 각각 인가하는 복수의 마이크로웨이브 인가부를 포함하되, 상기 복수의 마이크로웨이브 인가부 중 어느 하나가 인가하는 마이크로웨이브는, 상기 복수의 마이크로웨이브 인가부 중 다른 하나가 인가하는 마이크로웨이브와, 위상 및 주파수 중 하나 이상이 서로 상이하다.
