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誘電体共振器を使用するプラズマ発生器、光学分光計、質量分析計、およびプラズマ発生方法
专利权人:
ラドム コーポレイションRADOM CORPORATION
发明人:
ジェヴティック,ジョヴァン,メノン,アショク,ピケルジャ,ヴェリボー
申请号:
JP20160501492
公开号:
JP6411449(B2)
申请日:
2014.03.12
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
A dielectric resonator is excited at its natural resonant frequency to produce highly uniform electric field for the generation of plasma. The plasma may be used optical or mass spectrometer.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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