誘電体共振器を使用するプラズマ発生器、光学分光計、質量分析計、およびプラズマ発生方法
- 专利权人:
- ラドム コーポレイションＲＡＤＯＭ ＣＯＲＰＯＲＡＴＩＯＮ
- 发明人:
- ジェヴティック，ジョヴァン,メノン，アショク,ピケルジャ，ヴェリボー
- 申请号：
- JP20160501492
- 公开号：
- JP6411449(B2)
- 申请日:
- 2014.03.12
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- A dielectric resonator is excited at its natural resonant frequency to produce highly uniform electric field for the generation of plasma. The plasma may be used optical or mass spectrometer.
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
