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X線遮蔽格子および該X線遮蔽格子を備えたX線トールボット干渉計
专利权人:
CANON INC
发明人:
TEJIMA TAKAYUKI,手島 隆行,NAKAMURA TAKASHI,中村 高士,SATO GENTA,佐藤 玄太
申请号:
JP2015005924
公开号:
JP2015221192A
申请日:
2015.01.15
申请国别(地区):
JP
年份:
2015
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a curved shield grating with a structure hardly damaged during manufacturing and also to provide a manufacturing method therefor.SOLUTION: An X-ray shield grating 1 comprises a substrate 2, a plurality of crevices 3, and metal 4 arranged in the crevices. The X-ray shield grating has a curved region 5 curving in a direction in which the plurality of crevices are arranged, the curvature radius of the curved region being 200 mm or less. In the curved region 5, the maximum width of a region interposed between two adjacent crevices of the plurality of crevices is three times or less of the minimum width of the interposed region. The width of the substrate at an end 7 of the curved region, when the end is a part of the substrate, is the shortest distance from the end to the metal. The width of the substrate at the end of the curved region, when the end is a part of the metal and hence the distance is zero (0), is three times or less of the minimum width.COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】 湾曲した遮蔽格子であって、製造の際に破損が起こりにくい構造を有する遮蔽格子及び、該遮蔽格子の製造方法を提供すること。【解決手段】 X線遮蔽格子1は、基板2と、複数の凹部3と、凹部に配置された金属4とを有する。X線遮蔽格子は、複数の凹部の配列方向に湾曲した湾曲領域5を有し、湾曲領域の曲率半径は200mm以下である。湾曲領域5において、複数の凹部のうち、隣り合う2つの凹部に挟まれた領域の幅の最大値が、隣り合う2つの凹部に挟まれた領域の幅の最小値の3倍以下である。また、湾曲領域の端部7における基板の幅を、端部が基板の一部であるとき、端部から金属までの最短距離とし、端部が金属の一部であるとき、0とするとき、湾曲領域の端部における基板の幅が、最小値の3倍以下である。【選択図】 図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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