GEORGIOU, Julius;ANDREOU, Charalambos, Micheal;GEORGIOU; Julius
发明人:
GEORGIOU, Julius,ANDREOU, Charalambos, Micheal
申请号：
IBIB2013/002555
公开号：
WO2014/037808A1
申请日:
2013.09.04
申请国别(地区):
IB
年份:
2014
代理人:
摘要：
A hybrid MEMS microfluidic gyroscope is disclosed. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a micro-machined base enclosure having a top fluid enclosure, a fluid sensing enclosure and a bottom fluid enclosure. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a plurality of cantilevers disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure or a single membrane disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure.La présente invention porte sur un gyroscope microfluidique à système microéléctromécanique (MEMS) hybride. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une enceinte de base micro-usinée ayant une enceinte de fluide supérieure, une enceinte de détection de fluide et une enceinte de fluide inférieure. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une pluralité de porte-à-faux agencés à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée ou une membrane unique agencée à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée.
