A hybrid MEMS microfluidic gyroscope is disclosed. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a micro-machined base enclosure having a top fluid enclosure, a fluid sensing enclosure and a bottom fluid enclosure. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a plurality of cantilevers disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure or a single membrane disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure.La présente invention porte sur un gyroscope microfluidique à système microéléctromécanique (MEMS) hybride. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une enceinte de base micro-usinée ayant une enceinte de fluide supérieure, une enceinte de détection de fluide et une enceinte de fluide inférieure. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une pluralité de porte-à-faux agencés à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée ou une membrane unique agencée à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée.
