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GYROSCOPE MICROFLUIDIQUE À SYSTÈME MICROÉLÉCTROMÉCANIQUE (MEMS) HYBRIDE
专利权人:
Georgiou, Julius;Andreou, Charalambos, Micheal
发明人:
申请号:
EP13812069.6
公开号:
EP2893296A1
申请日:
2013.09.04
申请国别(地区):
EP
年份:
2015
代理人:
摘要:
A hybrid MEMS microfluidic gyroscope is disclosed. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a micro-machined base enclosure having a top fluid enclosure, a fluid sensing enclosure and a bottom fluid enclosure. The hybrid MEMS microfluidic gyroscope may include a plurality of cantilevers disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure or a single membrane disposed within the bottom semi-circular portion of the micro-machined base enclosure.La présente invention porte sur un gyroscope microfluidique à système microéléctromécanique (MEMS) hybride. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une enceinte de base micro-usinée ayant une enceinte de fluide supérieure, une enceinte de détection de fluide et une enceinte de fluide inférieure. Le gyroscope microfluidique MEMS hybride peut comprendre une pluralité de porte-à-faux agencés à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée ou une membrane unique agencée à l'intérieur de la partie semi-circulaire inférieure de l'enceinte de base micro-usinée.
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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