声表面波传感器复合敏感膜的制备工艺
- 专利权人:
- 中国电子科技集团公司第三十八研究所
- 发明人:
- 胡佳,李臻,李维龙,黄双双,张婧
- 申请号：
- CN201310512180.7
- 公开号：
- CN103529120B
- 申请日:
- 2013.10.25
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2016
- 代理人:
- 方荣肖
- 摘要：
- 本发明提供了声表面波传感器复合敏感膜的制备工艺，包括：在声表面波器件的上方设置至少两个出口对准声表面波器件的表面的气喷雾沉积装置；根据需要喷涂的复合敏感膜的参数调节好每一个气喷雾沉积装置的工艺参数；所有气喷雾沉积装置同时对声表面波器件进行沉积，在声表面波器件的表面形成复合敏感膜。本发明的优点在于：本发明的工艺可制备出传统溶液法工艺所不能制备出的复合敏感膜。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
