PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a particle beam irradiation device capable of expanding a dose distribution of a beam spot, while restraining the maximum usable range of a charged particle beam from being reduced.SOLUTION: An irradiation control means 14 controls the first scanning means 3 to scan a small area of an irradiation object out of the plurality of small areas with the charged particle beam, controls the second scanning means 4 to change the small area of the irradiation object to another small area out of the plurality of small areas, and conducts control to make a scanning speed of the charged particle beam in a target area by the first scanning means 3 higher than a scanning speed of the charged particle beam in a target area by the second scanning means 4.COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT【課題】荷電粒子ビームの最大利用可能飛程の減少を抑えながら、ビームスポットの線量分布を拡大する粒子線照射装置を得る。【解決手段】照射制御手段14は、複数の小領域のうち照射対象とする小領域を荷電粒子ビームが走査するように第一走査手段3を制御し、照射対象とする小領域を複数の小領域のうち別の小領域に変更するように第二走査手段4を制御し、かつ、第二走査手段4による標的領域における荷電粒子ビームの走査速度よりも、第一走査手段3による標的領域における荷電粒子ビームの走査速度の方が高速であるように制御する。【選択図】図1