一种MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及制造方法
- 专利权人:
- 浙江工业大学
- 发明人:
- 董健,蒋恒,孙笠
- 申请号：
- CN201410264513.3
- 公开号：
- CN104062464B
- 申请日:
- 2014.06.13
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 黄美娟`王兵
- 摘要：
- 本发明公开了一种基于阳极键合封装的MEMS压阻式加速度、压力集成传感器及其制造方法，所述的传感器同时集成了压阻式加速度传感器和压阻式压力传感器，并且具有第一键合玻璃‑硅基‑第二键合玻璃三明治结构；本发明MEMS压阻式加速度、压力集成传感器结构新颖、重量轻、体积小、稳定性好、抗污染能力强；此外，本发明中，同一片芯片上使用相同的工艺，不同的设计来实现压力测量和加速度测量这两种能力，工艺流程简单；本发明传感器在航空航天、军事、汽车、环境监测等领域具有一定的应用前景。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
