Entsprechend einer Ausführungsform wird eine Laserionenquelle (100) bereitgestellt. Die Laserionenquelle (100) enthält eine Vakuumkammer (110), die evakuiert ist, und in der ein Ziel (112) transportiert und eingesetzt ist, mit einem Ventil (130), das geöffnet wird, wenn das Ziel (112) in die Vakuumkammer (110) transportiert wird, und das ansonsten – außer bei dem Transport – geschlossen ist, mit einer Zielzuführkammer (120), die das Ziel (120) hält, so dass es beweglich ist, und mit einer Transporteinheit (160), die das Ziel (112), das in der Zielzuführkammer (120) gehalten ist, in die Vakuumkammer (110) transportiert, während das Ventil (130) offen ist, nachdem die Zielzuführkammer (120) bei geschlossenem Ventil (130) evakuiert wurde.In accordance with a preferred embodiment, a laser source (100) ions provided. The laser ions source (100) comprises a vacuum chamber (110), which is evacuated, and in which a target (112) and transported is inserted with a valve (130), which is opened when the target (112) in the vacuum chamber (110) is transported, and the otherwise – except in the case of the transport – is closed, with a target feeding chamber (120), which holds the target (120), so that it is movable, and with a transport unit (160), which the target (112), which in the target feeding chamber (120) is held in the vacuum chamber (110) is to be transported, while the valve (130) is open, after the target feeding chamber (120) in the case of the valve is closed (130) has been evacuated.
