Problem to be solved: to provide a plasma irradiation apparatus and a nozzle cleaning device capable of easily confirming that the nozzle is either usable or unusable.Plasma irradiation deviceHaving a plasma generating portion 12 located in the bodyAn irradiation instrument 10 for discharging at least one of the active gas generated by the plasma generating part 12 and the active gas generated by the plasma from the nozzle 1A storage part 51 is provided in the nozzle 1 to store the usable state of the nozzle 1 and the unusable state of the nozzle 1 which is not usable, andThe first read / write section 52, which is provided in the main body, reads one of the usable and unusable states stored in the storage section 51 and writes one of the available and unusable states to the storage section 51；A display 53 is provided on the nozzle 1 to display one of the usable and unusable States.Diagram【課題】ノズルが使用可能な状態および使用不能な状態のいずれか一方であることを容易に確認することができるプラズマ照射装置およびノズル洗浄装置を提供する。【解決手段】プラズマ照射装置は、本体内に位置するプラズマ発生部１２を有し、プラズマ発生部１２にて発生したプラズマおよびプラズマによって生じる活性ガスの少なくとも一方をノズル１から吐出する照射器具１０と、ノズル１に設けられノズル１が使用可能な使用可能状態およびノズル１が使用不能な使用不能状態のいずれか一方であることを記憶する記憶部５１と、本体に設けられ記憶部５１に記憶された使用可能状態および使用不能状態のいずれか一方の読み取り並びに記憶部５１に使用可能状態および使用不能状態のいずれか一方の書込みを行う第１の読取書込部５２と、ノズル１に設けられ使用可能状態および使用不能状態のいずれか一方を表示する表示部５３と、を備える。【選択図】図２
