ブロックコポリマーの秩序化
- 专利权人:
- ボード・オブ・リージエンツ，ザ・ユニバーシテイ・オブ・テキサス・システム
- 发明人:
- ウィルソン，カールトン，グラント,エリソン，クリストファー,マーハ，マイケル,ベーツ，クリストファー,ジェーンズ，ダスティン
- 申请号：
- JP20160556766
- 公开号：
- JP2017514671(A)
- 申请日:
- 2015.03.13
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- ブロックコポリマーを秩序化させるための方法であって、第１の優先モードを有する第１の層を形成することと、第１の層の選択された領域を第２の優先モードに改質する反応剤を前記選択された領域に提供することとを含み、選択された領域が、第１の優先モードを保持している第１の層の他の領域を画定し、これにより、ブロックコポリマーのためのアライメント層を形成する、方法である。【選択図】図１
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
