ブロックコポリマーの秩序膜（ｏｒｄｅｒｅｄ ｆｉｌｍ）の限界寸法均一性を向上させるための方法
- 专利权人:
- アルケマ フランス
- 发明人:
- ナヴァロ， クリストフ,ニコレ， セリア,イヌブリ， ラベール,シュバリエ， ザビエル
- 申请号：
- JP20170537908
- 公开号：
- JP2018506183(A)
- 申请日:
- 2016.01.21
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 本発明は、ナノメートル規模のブロックコポリマーの秩序膜の限界寸法均一性を制御するための方法に関する。本発明はまた、ブロックコポリマーの秩序膜の限界寸法均一性を制御するために使用される組成物、及び結果的に生じる、特にリソグラフィー分野でマスクとして使用することができる秩序膜に関する。【選択図】なし
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
