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ブロックコポリマーの秩序膜(ordered film)の限界寸法均一性を向上させるための方法
专利权人:
アルケマ フランス
发明人:
ナヴァロ, クリストフ,ニコレ, セリア,イヌブリ, ラベール,シュバリエ, ザビエル
申请号:
JP20170537908
公开号:
JP2018506183(A)
申请日:
2016.01.21
申请国别(地区):
日本
年份:
2018
代理人:
摘要:
本発明は、ナノメートル規模のブロックコポリマーの秩序膜の限界寸法均一性を制御するための方法に関する。本発明はまた、ブロックコポリマーの秩序膜の限界寸法均一性を制御するために使用される組成物、及び結果的に生じる、特にリソグラフィー分野でマスクとして使用することができる秩序膜に関する。【選択図】なし
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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