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Electrode structure for forming a dielectric barrier plasma discharge
专利权人:
シノギー・ゲーエムベーハー
发明人:
バンドケ、ディルク,ハーンル、ミルコ,トルトビグ、レオンハルト,ストーク、カール-オット
申请号:
JP2019505236
公开号:
JP2019530948A
申请日:
2017.07.21
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
Dielectric barrier plasma discharge between the electrode (1) supplied with alternating high voltage by the control device (20) and the surface (21) to be treated of the conductive object (22) serving as the earth electrode The dielectric structure (8) covers the electrode (1) entirely toward the surface (21) to be treated and forms a contact surface for the surface (21) The electrode structure is made up of at least two partial electrodes (2, 3) in which the electrodes (1) are arranged side by side at the same interval (6) with respect to the contact surface and insulated from each other by the dielectric (8). The adjacent partial electrodes are supplied with complementary partial alternating high voltages which are inverted by the control device with respect to the waveform and voltage level, so that an efficient and uniform plasma (especially when the surface (21) to be treated is large ( 23) Formation Possible to be.制御装置(20)により交流高圧の供給を受ける電極(1)と、アース電極としての役目を果たす導電性の物体(22)の処理されるべき表面(21)との間に誘電体バリアプラズマ放電を形成するための電極構造であって、処理されるべき表面(21)に向かって誘電体(8)が電極(1)を全面的に覆い、表面(21)のための当接面を形成する電極構造は、電極(1)が、当接面に対して同じ間隔(6)で相並んで配置されて誘電体(8)により互いに絶縁された少なくとも2つの部分電極(2,3)からなり、隣接する部分電極は制御装置により波形と電圧レベルに関して反転した互いに補い合う部分交流高圧の供給を受けることによって、特に処理されるべき表面(21)が大きいときに、効率的で均一なプラズマ(23)の形成を可能にする。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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