The invention relates to a method for testing a laser device (10) which is designed to provide focused, pulsed laser radiation, the focus position (18) of which can be varied both in and perpendicular to the direction of propagation of the laser radiation. The laser device comprises a contact element (30) which is transparent to the laser radiation and has a bearing surface (34) on which an object to be treated is placed. In the course of the method, a test object (36) which is transparent to laser radiation in at least one treatment area is placed against the bearing surface of the contact element. Laser radiation is then directed inside the test object that rests on the bearing surface, and the focus position is moved in accordance with a predefined test pattern in order to produce permanent treatment structures in the test object.본 발명은 펄스식 집속 레이저 방사선을 방출하도록 설계된 레이저 장치(10)를 검사하기 위한 방법에 관한 것이며, 레이저 방사선의 초점 위치(18)는 레이저 방사선의 진행 방향 및 진행 방향과 직교하는 방향으로 모두 조정가능하다. 레이저 장치는 레이저 방사선에 투과성이며 가공할 물체가 놓여지는 접촉면(34)을 구비하한 접촉 요소(30)를 포함한다. 검사 방법의 과정에서, 적어도 하나의 가공 구역에서 레이저 방사선에 대해 투과성인 시험체(36)가 접촉 요소의 접촉면에 놓인다. 그 다음에 접촉면에 맞닿은 시험체 내로 레이저 방사선이 방사되고, 시험체에 영구적인 가공 구조를 형성하기 위하여 소정의 검사 패턴에 따라 초점 위치가 이동된다.
