And sterilization, is a method of and sanitization, the at least one of the decontamination. The method achieved generating a humidified environment having a high relative humidity than ambient humidity, a step of releasing ozone to humidified environment, the necessary degree of decontamination and sterilization of the humidified environment catalyst comprising the steps of: maintaining the level of ozone concentration, the step of reducing the relative humidity of the decontamination and sterile environment, in order to reduce the concentration of ozone to a predetermined level, the decontamination and sterile environment for It was allowed to pass through, and a step of continuing the decrease in the relative humidity of the environment.滅菌と、衛生化と、除染との少なくとも1つをする方法である。この方法は、周囲湿度よりも高い相対湿度を有する加湿された環境を生成する工程と、加湿された環境にオゾンを放出する工程と、加湿された環境の除染及び滅菌の必要な程度を達成する濃度でオゾンのレベルを維持する工程と、除染及び滅菌された環境の相対湿度を減少させる工程と、オゾンの濃度を所定のレベルに減少させるために、除染及び滅菌された環境を触媒を通過させて、環境の相対湿度の減少を続ける工程とを含む。