펠츠 존 티.,피스크 토마스 이.,아브람스 로버트 에스.,페르구손 존,프리드만 조나단 알.,팽본 로버트 제이.,사고나 피터 제이.
申请号:
KR1020207026338
公开号:
KR1020200109383A
申请日:
2011.05.12
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要:
Coating process products inspection method is provided. Measure the emission of at least one volatile species into the gas space adjacent to the coated surface from the coated surface, and compare the result with the result measured under the same test conditions and with at least one standard subject. Thereby, it is possible to determine the presence or absence of the coating and/or the physical and/or chemical properties of the coating. This method is useful for arbitrary coated products, for example , and inspecting containers. In particular, for for for for for for for the coating made of organic silicon precursor , especially for the barrier coating is also launched.코팅 공정 제품을 검사하는 방법이 제공된다. 코팅된 표면과 인접한 가스 공간으로 적어도 하나의 휘발성 종의 코팅된 표면으로부터의 방출을 측정하고 그 결과를 동일한 시험 조건에서 측정된 적어도 하나의 기준 대상에 대한 결과와 비교한다. 이로써, 코팅의 존재 또는 부재 및/또는 코팅의 물리적 및/또는 화학적 특성을 결정할 수 있다. 이러한 방법은 임의의 코팅된 제품, 예를 들어, 용기를 검사하는 데 유용하다. 특히 유기실리콘 전구체로 만들어진 PECVD 코팅, 특히 배리어 코팅의 검사에 대한 응용 또한 개시된다.