PROBLEM TO BE SOLVED: To provide 1/3 duty phase grating having an easily manufacturable structure.SOLUTION: A phase grating 4 includes a first phase modulation pattern 40 and a second phase modulation pattern 50. Each of the first and second phase modulation patterns is a phase modulation pattern in which phase delay portions (44, 48) and phase reference portions (42, 46) are alternately arranged in width of 1:2 or 2:1. A phase difference in the phase reference portion relative to the phase delay portion is -2(3n+1)π/3 or -2(3n+2)π/3 in the first phase modulation pattern, and -2(3 m+1)π/3 or -2(3 m+2)π/3 in the second phase modulation pattern. The phase modulation patterns of the phase grating 4 are configured due to that the first and second phase modulation patterns overlap in such a way that the cyclic direction (direction x) of the first phase modulation pattern and the cyclic direction (direction y) of the second phase modulation pattern intersect each other. However, n and m are integers greater than or equal to 0.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2016,JPO&INPIT【課題】 容易に製造することができる構造を有する1/3デューティ位相格子を提供する。【解決手段】 位相格子4は、第1の位相変調パターン40と第2の位相変調パターン50とを備える。 第1と第2の位相変調パターンのそれぞれは、位相遅延部(44、48)と位相基準部(42、46)とが、1:2又は2:1の幅で交互に配置された位相変調パターンである。位相遅延部に対する位相基準部の位相差は、第1の位相変調パターンにおいて-2(3n+1)π/3または-2(3n+2)π/3、第2の位相変調パターンにおいて-2(3m+1)π/3または-2(3m+2)π/3である。第1と第2の位相変調パターンが、第1の位相変調パターンの周期方向(x方向)と第2の位相変調パターンの周期方向(y方向)とが交差するように重なることにより、位相格子4の位相変調パターンが構成される。但し、nとmは0以上の整数である。【選択図】 図2
