U型精密直线压电驱动器及其激励方法
- 专利权人:
- 哈尔滨工业大学
- 发明人:
- 刘英想,田鑫琦,石胜君,陈维山,冯培连
- 申请号：
- CN201710245066.0
- 公开号：
- CN107070295A
- 申请日:
- 2017.04.14
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 岳泉清
- 摘要：
- U型精密直线压电驱动器及其激励方法，属于压电精密驱动技术领域，为了满足微电子制造、纳米制造、航空航天等技术领域对精密驱动提出的大行程、高速、强载、高精度性能的需求。本发明的两个水平布置的换能器相互平行，两个竖直布置的换能器相互对称，竖直布置的换能器的轴线与水平布置的换能器的轴线空间正交；换能器包含外壳、压电叠堆、预紧块、定位销、端盖、输出轴，这种换能器能有效减小载荷直接作用在压电叠堆上的弯矩，起到增大直线动子输出力的作用。本发明能够实现大范围、高速运动的同时兼顾极高的定位精度；具有定位精度高、行程大、输出速度和输出力可调、输出力大等优势。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
