gas processing device has a housing defining an interior space for holding the liquid. The housing has an exit port spaced apart from the inlet port to the gas passing through the interior space to flow through the liquid, from the inlet port. A gas delivery device (gas delivery system) directs the gas to be treated into the interior space of the housing with the gas inlet port. An ultrasonic waveguide assembly (ultrasonic waveguide assembly) are placed within the internal space of the housing includes an ultrasonic horn (ultrasonic horn) at least partially disposed in the gas inlet port and gas outlet port of the middle housing. The ultrasonic horn is operable by an ultrasonic frequency to an ultrasonic treatment liquid within the housing. UV light source emits UV rays in the interior space of the housing to treat liquid flowing into the gas outlet port from the gas inlet port.가스 처리 장치는 액체를 보유하기 위한 내부 공간을 형성하는 하우징을 갖는다. 상기 하우징은 상기 내부 공간을 통과하는 가스가 액체를 통해 흐르도록 입구 포트와, 상기 입구 포트로부터 이격된 출구 포트를 갖는다. 가스 전달 장치(gas delivery system)는 상기 가스 입구 포트에 있는 상기 하우징의 내부 공간 내로 처리될 가스를 지향시킨다. 초음파 도파관 조립체(ultrasonic waveguide assembly)는 상기 하우징의 내부 공간 내에 배치되며 상기 하우징의 가스 입구 포트와 가스 출구 포트 중간에 적어도 부분적으로 배치되는 초음파 혼(ultrasonic horn)을 포함한다. 상기 초음파 혼은 상기 하우징 내의 액체를 초음파 처리하도록 초음파 주파수로 작동가능하다. 자외선 광원은 상기 가스 입구 포트로부터 상기 가스 출구 포트로 흐르는 액체를 처리하도록 상기 하우징의 내부 공간 내에 자외선을 방출한다.