The gas sterilization system, the sterilization chamber, has sterilization gas source, and sterilization gas harmless conversion mechanism. Execution form, the system and the system and the method in order to remove nitrogen dioxide gases from the exhausts style of method and the sterilization chamber of supplying the containing moisture air to the sterilization chamber, sterilization gas source, removes the exhaust scrubber, or the humidification source of the humidification system or it regards the system and method in order to exchange.< Selective figure >Figure 3ガス滅菌システムは、滅菌チャンバ、滅菌ガス源、及び滅菌ガス無害化機構を有する。実施形態は、滅菌チャンバに含湿空気を供給するシステム及び方法、滅菌チャンバの排気ガス流から二酸化窒素ガスを除去するためのシステム及び方法、滅菌ガス源、排気ガススクラバ、あるいは加湿システムの加湿源を取り外すあるいは交換するためのシステム及び方法に関する。【選択図】図3