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Method for forming a coating having composite coating particle size and coating by the same
专利权人:
イオンズ カンパニー リミテッド
发明人:
リ ムン ギ,キム ビョン キ,パク チェ ヒョク,キム デ グン,リ ミョン ノ
申请号:
JP2015557963
公开号:
JP2016515164A
申请日:
2014.12.04
申请国别(地区):
JP
年份:
2016
代理人:
摘要:
An embodiment of the present invention relates to a method of forming a coating having a composite coating particle size and a coating by this. According to the present invention, a plurality of powders having a first particle size range of a powder is supplied from a powder supply unit, the powder is transferred using a transfer gas, and the transferred powder is placed in a process chamber. A plurality of first particles having a first particle size range of the coating, and a second particle size of the coating larger than the first particle size range of the coating. Forming a mixed film with a plurality of second particles having a range, wherein the first particle size range of the first particle coating is 200 nm to 900 nm, and the second particle coating second layer is formed. Disclosed is a method for forming a coating having a composite coating particle size with a particle size range of 900 nm to 10 μm and a coating thereby. [Selection] Figure 1【課題】本発明の一実施例は複合被膜粒子粒径を有する被膜の形成方法およびこれによる被膜に関する。【解決手段】本発明は粉末供給部から粉末の第1粒径範囲を有する多数の粉末が供給され、移送ガスを利用して前記粉末を移送する段階と、前記移送された粉末を工程チャンバー内の基材に100乃至500m/sの速度で衝突および破砕させて、被膜の第1粒径範囲を有する多数の第1粒子と、前記被膜の第1粒径範囲より大きい被膜の第2粒径範囲を有する多数の第2粒子とが混合された被膜を形成する段階とを含み、前記第1粒子の被膜の第1粒径範囲は200nm乃至900nmであり、前記第2粒子の被膜の第2粒径範囲は900nm乃至10μmである複合被膜粒子粒径を有する被膜の形成方法およびこれによる被膜を開示する。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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