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旋转阳极的具有微结构的光轨道
专利权人:
西门子公司
发明人:
J.弗罗伊登伯格,S.兰彭舍夫,W.沙夫,S.沃尔特
申请号:
CN201210216506.7
公开号:
CN102856144B
申请日:
2012.06.27
申请国别(地区):
CN
年份:
2017
代理人:
摘要:
本发明涉及一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),该光轨道局有存在于其表面(2)上的微结构(4),其中,所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极(1)的方法中,借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构(4)。本发明尤其有利地用于医学的X射线设备。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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