旋转阳极的具有微结构的光轨道
- 专利权人:
- 西门子公司
- 发明人:
- J.弗罗伊登伯格,S.兰彭舍夫,W.沙夫,S.沃尔特
- 申请号:
- CN201210216506.7
- 公开号:
- CN102856144B
- 申请日:
- 2012.06.27
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要:
- 本发明涉及一种旋转阳极(1),具有光轨道(3),该光轨道局有存在于其表面(2)上的微结构(4),其中,所述微结构(4)借助反应性离子深度蚀刻制成。在一种用于制造这种旋转阳极(1)的方法中,借助反应性离子深度蚀刻制造所述的微结构(4)。本发明尤其有利地用于医学的X射线设备。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心