The invention relates in a general aspect to a method of making vertically protruding elements on a substrate, said elements having a tip comprising at least one inclined surface and an elongated body portion extending between said substrate and said tip. The method comprises an anisotropic, crystal plane dependent etch forming said inclined surface(s) and an anisotropic, non crystal plane dependent etch forming said elongated body portion combined with suitable patterning processes defining said protruding elements to have a predetermined base geometry.Linvention concerne, dans un aspect général, un procédé de fabrication déléments faisant saillie verticalement sur un substrat, lesdits éléments présentant un bout comportant au moins une surface inclinée et une partie de corps allongée sétendant entre ledit substrat et ledit bout. Le procédé comporte une gravure anisotrope dépendant du plan cristallin formant ladite ou lesdites surfaces inclinées et une gravure anisotrope ne dépendant pas du plan cristallin formant ladite partie de corps allongée ces deux étapes étant combinées à des processus de modelage appropriés définissant lesdits éléments faisant saillie pour donner une géométrie de base prédéterminée.
