A sterilization device comprising: a reaction container for housing a subject to be sterilized therein and sterilizing the same； a chemical agent-supplying means for supplying a peracid agent as a sterilizing agent, said peracid agent comprising at least peracetic acid, into the reaction container； a depressurizing means for reducing the pressure in the reaction container； a ventilating means for ventilating the inside of the reaction container； and a plasma generating means for generating plasma at a preset point in a fluid pathway that ranges from the housing position of the subject to be sterilized in the reaction container and in the vicinity of the aforesaid position to the outside of the device, said sterilization device being characterized in that, in the process of decreasing the pressure in the reaction container after the sterilization using the chemical agent, the depressurizing means and the plasma generating means are controlled so as to maintain the preset point in a plasma generation state.L'invention concerne un dispositif de stérilisation comprenant : un récipient de réaction pour recevoir un sujet à stériliser à l'intérieur de celui-ci et stériliser le sujet； un moyen de fourniture d'agent chimique pour fournir un agent peracide en tant qu'agent stérilisant, ledit agent peracide comprenant au moins un acide peracétique, dans le récipient de réaction； un moyen de décompression pour réduire la pression dans le récipient de réaction； un moyen de ventilation pour ventiler l'intérieur du récipient de réaction； et un moyen de génération de plasma pour générer un plasma à un point préétabli dans un passage de fluide qui s'étend de la position de réception du sujet à stériliser dans le récipient de réaction et à proximité de la position mentionnée ci-dessus à l'extérieur du dispositif, ledit dispositif de stérilisation étant caractérisé en ce que, dans le procédé de diminution de la pression dans le récipient de réaction après la stérilisation à l'aide de
